潔凈室環(huán)境智造必凈之路
參考規(guī)范:
《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50472
《潔凈室施工及驗收規(guī)范》GB-50591
《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB-50073
《通風(fēng)與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范》GB-50243
電子廠凈化車間等級要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計或規(guī)范受控,另外電子廠凈化車間對靜電要求極其嚴(yán)格,其中對濕度的要求尤甚。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子廠凈化車間的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。